12寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL EXCELMETRO-1200 - 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司

12寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL EXCELMETRO-1200

配置功能

兼容12/8寸尺寸晶圆；
两个FIMSloadport，可定制SMIF；
双探头切换，适合不同应用场景，避免探头直接沾污；
实现超小TCR系数测量（可选配置）；
硅片厚度原位测量（可选配置）；
可选配SECS/GEM厂务通讯协议。

分类：

产品中心集成电路领域

优异性能

测量范围跨越12个数量级；
满足28nm以下工艺节点要求；
下针高度自动控制，自动清针组合；
基于Fab全自动机台量测性能设计；
满足各类高要求测量。