台式四探针方块电阻自动量测机台MQL-443系列

配置功能

●　兼容12/8/6寸及以下尺寸各类晶圆

●　双探头切换，适合不同应用场景

●　控温载片台

●　实现超小TCR系数测量（可选配置）

●　硅片厚度原位测量（可选配置）

分类：

产品中心集成电路领域

优异性能
●　测量范围跨越12个数量级
●　高精度定位
●　下针高度自动控制
●　自动清针组合

设备	MQL-443系列
适用领域	集成电路各类导电薄膜方块电阻测量各类硅衬底电阻率测量
晶圆尺寸	兼容12/8/6寸及以下尺寸各类晶圆
探头模组	双探头手动切换各类进口及自研探头
TCR测量	有
衬底厚度测量	有
自动清针	有