描述
应用范围
- 先进的闸门监控系统；
- 在线污染监测；
- 等离子工艺工具监控；
- 低K值工艺开发；
- 晶体管栅极关键参数的非接触式在线电子测量；
- 氮化硅（SiON)和高K介电材料物理和电气特性；
测量结果与FAB主流机台一致
对接厂务自动化SECS/GEM
优势
- 高级矫正算法，适用性强；
- 采用整面光源，缩短加热激活时间，提升WPH；
- 精准控制电荷量，提高测量准确性；
- 高定位精度功能；
- 延伸服务。