12寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL EXCELMETRO-1200 - 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司

12寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL EXCELMETRO-1200

配置功能

适合12寸晶圆芯片制造；
两个FIMSloadport；
双探头切换，适合不同应用场景，避免探头直接沾污；
控温载片台, 超大升温区间，实现超小TCR系数测量（可选配）；
硅片厚度原位测量（可选配置）；
可选配SECS/GEM厂务通讯协议。

分类：

产品中心集成电路领域

机台性能

测量范围跨越13个数量级；
满足各类工艺节点要求；
下针高度自动控制，自动清针组合；
基于Fab全自动机台量测性能设计；
对标KLA机台，满足金属、离子注入、外延等各类高要求测量。