12寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL-PROPS-12 - 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司

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12寸全自动四探针方块电阻量测机台MQL-PROPS-12

配置功能

适合12寸尺寸晶圆；
1个FIMS loadport ，可升级为2个FIMS loadport；
单探头，可升级为双探头；
可选配SECS/GEM厂务通讯协议。

分类：

产品中心集成电路领域

机台性能

测量范围跨越13个数量级；
适合传统工艺、先进封装等应用场景；
满足各类高要求测量。