12寸全自动四探针电阻率量测机台 ExcelMetro-12RC - 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司

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12寸全自动四探针电阻率量测机台 ExcelMetro-12RC

配置功能

适合12寸晶圆芯片制造；
两个FIMSloadport；
双探头切换，适合不同应用场景，避免探头直接沾污；
晶圆测厚功能；
电阻率测量功能；
PN类型测量；
可选配SECS/GEM厂务通讯协议。

分类：

产品中心集成电路领域

机台性能

测量范围跨越13个数量级；
满足各类工艺节点要求；
下针高度自动控制，自动清针组合；
基于Fab全自动机台量测性能设计。